日本進(jìn)口shinkuu小型磁控管濺射裝置
日本進(jìn)口shinkuu小型磁控管濺射裝置
一鍵自動(dòng)鍍膜。沒(méi)有麻煩的操作。高性價(jià)比機(jī)器。它是MSP-1S的弟弟。
使用小目標(biāo)(φ30mm)。實(shí)現(xiàn)低運(yùn)行成本。Au 靶作為標(biāo)準(zhǔn)包含在內(nèi)。展示其在桌面 SEM 預(yù)處理方面的能力。
可選的目標(biāo)Ag膜具有優(yōu)異的光澤度,便于透明材料表面的光學(xué)顯微鏡觀察。
概述
本設(shè)備是一種帶磁控靶的金屬鍍膜設(shè)備。當(dāng)用光學(xué)顯微鏡(Ag 靶)觀察透明材料的表面或用電子顯微鏡(Au/Ag 靶)在少量樣品上涂導(dǎo)電膜時(shí)使用。
一鍵自動(dòng)鍍膜。沒(méi)有麻煩的操作。高性價(jià)比機(jī)器。它是MSP-1S的弟弟。
使用小目標(biāo)(φ30mm)。實(shí)現(xiàn)低運(yùn)行成本。Au 靶作為標(biāo)準(zhǔn)包含在內(nèi)。展示其在桌面 SEM 預(yù)處理方面的能力。
可選的目標(biāo)Ag膜具有優(yōu)異的光澤度,便于透明材料表面的光學(xué)顯微鏡觀察。
概述
本設(shè)備是一種帶磁控靶的金屬鍍膜設(shè)備。當(dāng)用光學(xué)顯微鏡(Ag 靶)觀察透明材料的表面或用電子顯微鏡(Au/Ag 靶)在少量樣品上涂導(dǎo)電膜時(shí)使用。
主要產(chǎn)品規(guī)格
物品 | 規(guī)格 |
電源 | AC100V, 10A 使用帶地線的三腳插頭 |
設(shè)備尺寸 | 寬180mm、深270mm、高 183mm(裝置重量4.2kg) |
回轉(zhuǎn)泵 | 排氣速度 5 ?/min (G- 5DA) (泵重量 5.5 kg) |
樣品室尺寸 | 內(nèi)徑86mm,高度60mm(硬玻璃) |
樣品臺(tái)尺寸 | Φ83mm |
樣本量 | 有效直徑Φ30mm,高度20mm以下 |
目標(biāo) | Φ30mm 磁控管電極 Au(標(biāo)準(zhǔn)),選項(xiàng)(Ag) |
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